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溅射靶材

溅射靶材

概要

用于液晶显示器薄膜配线的材料。采用高温等静力压制工艺,获得了均匀、微细的组织结构,
并且可实现大型化。此外,运用合金设计技术,也可提供满足低电阻、耐热、耐潮等各种用途要求的合金材料。

靶材产品一览

靶材产品一览
市场 化学成分
液晶显示器触控 Pure-Mo Mo-alloy Pure-W Pure-Cr Pure-Cu Cu-alloy 其他
太阳电池 Pure-Mo
硬碟关联 SUL(Co-alloy Fe-alloy)Cr-alloy Ni-alloy Pure-W W-alloy 其他
硬质皮膜 Pure-Cr TiSi CrSi CrB 其他
半导体 TiW CoFeB 其他
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