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精密流体控制仪器质量流量控制器(SAM™・Aera™)

精密流体控制仪器质量流量
控制器(SAM™・Aera™)

概要

质量流量控制器是在半导体生产线中的成膜、蚀刻等供气系统中紧密控制气体流量的装置。本公司的产品在阀门上搭载使用自己开发的Ni-Co合金的波形隔膜,对于流体接触的所有部分采用了金属密封的洁净结构,结合各种用途备齐了丰富的产品系列。今后,我们也将为应对不断发展进步的半导体工艺的要求,推出高性能数字质量流量控制器,为半导体的制造技术的发展做贡献。

※ 更多产品信息,欢迎向我司垂询了解。

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